第662章 八十纳米芯片良品率再次提升到68%!(1 / 2)
祁同伟的目光缓缓扫过监控墙上每一个绿色“就绪”的指示灯,
扫过控制室内每一张紧张而期待的脸。
三个月,从一片荒滩到这座深埋地下的现代化“芯片神庙”,无数人付出了难以想象的努力。
今天,是检验这一切的最终时刻。
“目标产品?”他问。
“八十纳米通用逻辑工艺试产芯片,设计代号‘盘古-1A’。
结构相对简单,主要用于验证全线工艺稳定性和良品率基线。”技术负责人回答。
“启动吧。”祁同伟的声音不高,却像按下了命运的开关。
命令下达。
“物料系统启动,首批硅片上料!”
“扩散炉启动,进行初始氧化……”
“光刻一组准备,掩模版确认,开始首层光刻……”
低沉而富有韵律的机械运转声,通过传感器隐约传来。
监控屏幕上,代表硅片(Wafer)的载体开始在自动化天车的搬运下,
沿着预定的路径,流入第一道工序。
光刻机的紫外灯光透过掩模,在涂有光刻胶的硅片上投射出微小的图形;
刻蚀机的等离子体辉光泛起,精确地去除未被保护的材料;
离子注入机将掺杂原子打入硅晶格;高温炉进行退火激活……
每一个步骤,都牵动着控制室内所有人的心。
数据在屏幕上飞快刷新,工程师们紧盯着自己负责的模块,不时低声交流、调整参数。
祁同伟站在总控台前,目光如鹰隼般锐利。
他看的不是单一数据,
而是整个生产流的节奏匹配、各设备状态的协同、以及任何可能预示潜在风险的细微波动。
时间在无声的流淌中过去。
八小时,十六小时,二十四小时……
首批二十五片晶圆,如同经历漫长旅途的朝圣者,依次通过了上百道工序的洗礼,
最终完成了全部前端和后端工艺,进入最终的电学测试环节。
晶圆被送入自动测试机。
尖锐的探针卡精准地扎在每一颗芯片的焊盘上,施加测试向量,读取响应。
控制室内的空气仿佛停止了流动。
只有测试机运行时轻微的嗡鸣,以及屏幕上疯狂跳动的测试结果。
“第一片晶圆测试完成……初步良品率估算……”
测试工程师的声音因为激动而有些变形,
“……65%!重复,首片晶圆功能良品率,达到65%!”
“65%!”
短暂的寂静后,控制室内爆发出压抑的、却充满力量的欢呼!
65%!对于一条刚刚建成、设备拼凑、首次全流程量产的八十纳米生产线来说,
这不仅仅是一个“达标”的数字,这是一个奇迹!
它标志着,“汉芯”不仅掌握了八十纳米的实验室技术,
更成功跨越了从实验室到工厂量产之间那道吞噬了无数项目的“死亡之谷”!
“继续测试!统计全部二十五片晶圆的最终良品率!”
祁同伟的声音依旧冷静,但眼中那抹锐利的光芒,已然化为了炽热的火焰。