第653章 没有米下锅？我们自己变出来！（2 / 2）

祁同伟站起身，走到会议室侧面的白板前。

白板光洁如新，映着顶灯惨白的光。

他拿起一支红色记号笔，笔尖悬停在白板上方，然后，落下。

光源。

物镜。

对准。

材料。

四个词，被他用遒劲的力道，如同刻印般写在白板中央，鲜红刺目。

“光刻机是核心，是咽喉。

掐住我们脖子的，是这几个东西。”

他转过身，背对着那四个红字，面向众人，目光灼灼，“正面强攻，硬件不如人，我们就打一场‘非对称战争’。”

“用我们的脑子，”

他指了指自己的太阳穴，

“用我们的软件，用我们的算法，用我们能把系统拧成一股绳的本事，去填平硬件的鸿沟，

去欺骗物理的极限，去把那条看似绝路的边界，硬生生给它……撑开！”

他的语气斩钉截铁，不容置疑：

“今天起，启动‘破壁’行动。

三条线，同步压上，没有退路！”

“第一条线，代号：极限压榨！”

祁同伟的目光落回屏幕上那两台老尼康光刻机，

眼神像是赌徒看到了最后的本钱，

又像是将军审视着跟随自己多年的、伤痕累累却依然锋利的老兵。

“冯工，这两台‘老爷车’，是我们的特洛伊木马。

我要对它们，”他顿了顿，吐出四个字，“极限压榨。”

“压榨？”冯建国心头一跳。

“对。放弃所有关于设备寿命、常规工艺窗口的保守想法。

把它们往死里用，把每一丝理论潜力，哪怕是最后一点，都给我挤出来！”

祁同伟声音沉静，却带着一种近乎冷酷的决心，

“目标：用这台365纳米的i-le‘老花眼’，配上最激进的工艺和我们能想到的一切奇招，去‘模拟’出接近248纳米KrF‘青壮年’的效果！”

他走回白板，在“光源”旁边快速写下：

?多重曝光：把一副复杂的画，拆成两三幅简单的，分次画。

能画得更细，但步骤多了，手抖一点，画歪一点，误差就叠加，成品率会暴跌。

?计算光刻：他看向罗斯塔姆，眼中是绝对的信任，

“罗教授，这是你的主战场。

我需要你的团队，开发出前所未有的、极度复杂的算法。

在光真正照到硅片之前，就在计算机里，模拟光穿过掩模、镜头的所有弯弯绕绕、衍射变形，

然后提前把要画的图形‘预扭曲’好，等实际曝光时，变形正好抵消，得到我们想要的图形。

这需要海量的计算，和最精巧的数学模型。”

?超分辨率辅助图形：

在主要图案旁边，偷偷画上一些肉眼看不见、但光学效应能“感觉”到的辅助小线条，

利用光的“近朱者赤”效应，让主图案成像更清晰。

这又把掩模设计的难度和计算量推高了一个数量级。

......